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陶瓷滤芯过滤器 FT5系列






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FT5 系列气体过滤器选材和制造符合高洁净度环境的要求，确保流体的纯度和质量。
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陶瓷滤芯过滤器 FT5系列
特点
60~300 SLPM 的额定流量范围
工作压力可达：207 bar (3000 psig)
工作温度可达：200 ℃（ 400 °F ）
高效清除颗粒
颗粒脱落度极低，脱气率低
优异的水分烘干特性、化学相容性
10 级洁净室清洗、装配和包装
100％ 的氦气泄露测试
FT5 系列陶瓷滤芯过滤器，过滤精度 0.0025 µm，过滤器采用高纯陶瓷滤芯：3纳米，工作压力： MAX. 20.7 Mpa，过滤等级≥99.9999999％，电子显微镜扫描图像下过滤元件有两个膜层：超细膜层和细膜层，适用于各种半导体工艺中的气体过滤。
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