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电子技术的进步对芯片提出了更高的要求，芯阀科技为半导体工具制造商和芯片制造商提供了高质量的流体系统元件和支持，帮助他们发展生产工艺和设备，降低生命周期成本，并保持安全的流体系统运营。半导体行业对电子特气的纯度有很高的要求，因此要求流体系统中使用的管阀件具有很高的清洁度。如果清洁度不达标，可能导致生产出的产品有缺陷，甚至污染整条产品线，使全部产品报废；很多电子特气有毒有害、易燃易爆，因此，管阀件的密封性能也至关重要。
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选择我们半导体应用产品的理由
  • 材料严选
    主体材料采用316L、316L VAR、316L VIM-VAR,符合SEMIF20 相关标准，严格控制材料的化学成分、晶粒度等，确保材料满足高纯(HP)、超高纯(UHP)等级的使用场。
  •
    高纯清洗
    采用18.2MΩ•cm 电子级超纯水，千级无尘车间内精密预清洗，百级无尘室内超精密清洗。全自动清洗线，清洗过程稳定可靠，满足SEMI E49 超高纯洁净度要求。
  • 氦检测试
    所有高纯(HP)和超高纯(UHP)等级阀门出厂前都进行氦气外漏和内漏测试。内向泄露≤5x10-10 std cms/s。外向泄露≤5x10-10 std cms/s。阀座泄露≤1x10−9 std cms/s。
  •
    洁净室
    拥有千级、十级洁净室，组装、测试、包装全流程在千级或十级无尘车间作业，将二次污染风险降至最低，满足SEMI E49超高纯洁净度要求。
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