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不锈钢滤芯过滤器 FT6系列

FT6 系列气体过滤器选材和制造符合高洁净度环境的要求，确保流体的纯度和质量。

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不锈钢滤芯过滤器 FT6系列

壳体 100％氦气泄露测试

特点

15~300 SLPM 的额定流量范围

工作温度可达：460℃（ 860℉ ）

工作压力可达：210 bar（3046 psig ）

3 纳米颗粒过滤能力以最小的压降保持高流量

10 级洁净室装配和包装

全 316L 不锈钢紧凑结构，可在高温和动态压力工况应用

FT6 系列不锈钢滤芯过滤器，过滤精度 0.0025 µm，过滤器采用烧结金属滤芯：3纳米，工作压力： MAX. 21.0 Mpa，过滤等级≥99.9999999％，全 316L 不锈钢紧凑结构，可在高温和动态压力工况应用，适用于各种半导体工艺中的气体过滤。

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