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集成气路系统 (IGS)





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集成气路系统 IGS
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IGS 隔膜阀
IGS 调压阀
IGS 单向阀
表面贴装隔膜阀 MDV系列
独立膜片调压阀 MPR1系列
联结式膜片减压阀 MPR2系列
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表面贴装单向阀 MCV
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集成气路系统 (Integrated Gas System) 是一种用于半导体行业气体控制的集成系统，采用符合 SEMI 标准的表面安装元件，进行模块化设计，缩小设备体积，使安装和维护更简单。
模块式单向阀 MCCV系列
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